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ニュースリリース : 2008年度

チップ外観検査装置 Vi-4203/4303シリーズ、ウェーハ表面検査装置 WM-6000

チップ外観検査装置 Vi−4203/4303シリーズ
〜 従来比2倍・4倍の高速タイプをラインナップ 〜
ウェーハ表面検査装置 WM−6000
〜 65nmテクノロジーノードに対応した高感度タイプ 〜

1.概 要
 トプコンファインテックビジネスユニットは、半導体の前工程から後工程までの幅広いニーズに対応すべく様々なタイプの各種検査装置をラインナップしています。
 このたび、主力製品のひとつであるチップ外観検査装置の新モデルとして、従来製品の2倍の検査速度を持つ「Vi-4203HX/4303HX」、さらに4倍の検査速度を持つ最高速タイプの「Vi-4203FX/4303FX」を発売いたします。また前工程検査用にBare Siウェーハ検出感度38nmを達成したウェーハ表面検査装置「WM-6000」も同時に発売いたします。

チップ外観検査装置 Viシリーズ
チップ外観検査装置 Vi-4303 チップ外観検査装置Viシリーズは、自動外観検査装置として各種半導体ウェーハの外観検査はもちろんのこと、近年急速に市場を拡大しているCCD/CMOSイメージセンサをはじめMEMS,LED向けに販売を伸ばしてまいりました。今後も引続き需要増が予想される中、更なる売り上げ拡大を目指し、Viシリーズの最新モデル2製品を市場投入いたします。
 Viシリーズは、現在Vi-4300,4200,3000,2200,1200と5タイプをラインナップしていますが、今回発表するモデル「Vi-4203HX/4303HX」は現在の主力製品であるVi-4200/4300シリーズの上位機種となります。後工程での電気検査後またはダイシング後の検査、エキスパンド後の検査など様々な工程における検査に対応しており、従来までの後工程検査に加え、前工程での生産管理における歩留り改善への検査ニーズなどにも対応可能となっております。
 新製品「Vi-4203HX/4303HX」の大きな特長は高速検査の実現です。画像取り込み速度の大幅な改善と、画像取り込み後の処理速度を向上させたことで、従来装置の2倍の高速かつ高精度検査を可能にいたしました。
 また、これまでの検査装置では、人による目視検査と同様の検査結果を求めた場合、検査レシピの作成に慣れが必要なケースがありました。新製品では便利なナビゲーション機能を搭載しており、誰にでも簡単かつ短時間でレシピ作成が行えるなど、操作性を大幅に向上させました。さらに、4303シリーズでは従来モデルと比較して約40%の小型化を実現いたしました。オペレーション部とコンピュータ部を装置本体と一体化し、さらに搬送部をFOUP、オープンカセットなど様々なタイプに変更できるよう、レイアウトの柔軟性を持たせた設計となっております。
 上記新製品に加え、更に主力製品である現行のVi-4200/4300シリーズの4倍の検査速度を実現した最高速モデル「Vi-4203FX/4303FX」も同時発売いたします。
 これにより外観検査装置Viシリーズは、低価格モデルから汎用モデル、さらに今回開発した高速モデルまで幅広い製品ラインナップを持つこととなり、セミオートタイプ「Vi-1202」、フルオートタイプ「Vi-4302/4202/2202」に加え、イントレイタイプ「Vi-3200」まで取り揃え、今後ますます複雑化、そして多様化する検査ニーズに柔軟に対応することが可能です。

ウェーハ表面検査装置WMシリーズ
ウェーハ表面検査装置 WM−6000 前工程検査装置のひとつとして、パターン無しウェーハ上の異物や欠陥などを高感度に検出するウェーハ表面検査装置WMシリーズがあります。WMシリーズは現在、300mmウェーハに対応した「WM-10」、200mm以下をカバーする「WM-7S」、また、高い検出感度を持つ「WM-7000」をラインナップしています。
 今回新たに開発いたしました「WM-6000」は、同シリーズの最新モデルとなります。同製品は、前述のWM-10とWM-7000の中間に位置付けられる最新量産FabでのQC管理に適したハイコストパフォーマンスモデルで、300mmウェーハに対応し、最新のノードテクノロジーに対応可能なBare Siウェーハ検出感度38nmの高感度を実現しています。
 光源にはすでにWM-7Sで実績のあるバイオレットLDを採用。バイオレットLDは、長寿命かつ低消費電力レーザで、これによりメンテナンスにかかる費用を大幅に削減するだけでなく、環境にも配慮した装置となっております。また、光源のレーザパワーを高めることで従来機種と比較し、高スループットを実現しています。さらに、2軸光学系を採用することにより、パーティクルとCOPの分離が可能です。

 トプコンは、「より速く、より高精度に」をスローガンとして、ViシリーズやWMシリーズなどを中心とした各種検査装置の開発強化/販売網拡充を今後も進めてまいります。

2.特 長

『Vi−4203HX/4303HX  Vi−4203FX/4303FX』
1. 2倍・4倍の高速検査 従来モデルに対しHXタイプは2倍
FXタイプは4倍の高速検査が可能
2. 簡単レシピ作成 ナビゲーション機能により短時間でレシピ作成
3. 省スペース 300mm従来モデルに対し40%省スペース
『WM−6000』
1. 高い欠陥検出性能 Bare Siウェーハ検出感度38nmを実現
2. 低ランニングコスト LD採用による長寿命化・交換費用大幅削減
高速スループットで生産性向上


3.販売計画

『Vi−4203HX/4303HX  Vi−4203FX/4303FX』
1. 標準価格 Vi−4203HX  9,000万円〜 (各種構成による)
Vi−4203FX 11,000万円〜 (各種構成による)
Vi−4303HX 12,000万円〜 (各種構成による)
Vi−4303FX 14,000万円〜 (各種構成による)
2. 受注開始 平成20年12月〜
3. 販売目標 HX・FXシリーズ全体年間80台

『WM−6000』
1. 標準価格  WM−6000  10,000万円〜 (各種構成による)
2. 受注開始 平成20年12月〜
3. 販売目標 年間60台