紫外線強度計 UVR-300を発売

半導体製造用フォトレジストの光量測定やUVケア製品(医療・医薬・食品分野)の特性評価に最適
2009.08.28

株式会社トプコン(本社:東京都板橋区、取締役社長:横倉 隆)の子会社である株式会社トプコンテクノハウス(本社:東京都板橋区、取締役社長:小林 雅紀)は、紫外線強度の測定範囲を拡大させた紫外線強度計・UVR-300を開発し、8月下旬より販売を開始します。
紫外線強度計は、医療、医薬、食品分野などの紫外線殺菌ランプや光化学反応、高分子関係劣化試験などに幅広く利用される測定器で、近年は市場が拡大しているUVケア製品の特性評価や半導体製造におけるg線・i線用フォトレジストなどの光量測定にも用いられています。UVR-300は、高感度で、ワイドダイナミックレンジ(0.1〜280,000μW/cm2)を有し、測定用途に応じて異なる測定波長域に対応できる3タイプの受光部を用意。さらに、使いやすいハンディータイプのボディーに、パソコンとの通信が便利なミニUSBや多彩な測定に対応するキーボードユニットを標準装備するなど、手軽に高精度な計測が行える紫外線強度計です。

【開発の背景】
当社は、これまで輝度計、照度計、分光放射計、色彩輝度計など多彩なラインアップの光計測機器を開発・販売し、様々な業界で計測作業に活用されています。今回開発したUVR-300は、近年の紫外線を発光するランプ類の発光エネルギー量が高くなり、より幅広い測定範囲を持つ紫外線強度計の要望の高まりに応え開発しました。また、合わせてミニUSB搭載等でコンピュータとのデータ接続をスムーズにするなどトータルな作業性も高めています。

【特長】

  • 高感度、かつワイドダイナミックレンジ(0.1〜280,000μW/cm2)です。
  • キーボードユニット標準搭載により積算測定(mJ/cm2)や偏差測定(⊿モード)、パーセント測定が行えます。
  • ミニUSB搭載により、簡単にコンピューターに接続でき、データ取得に対応します。
  • 作業用途に合わせ、受光部を3タイプ(UD-250:220〜300nm/UD-360:310〜400nm/UD-400:360〜490nm)から選択できます。(別売品)
  • ハンディータイプで操作性に優れるコンパクトなボディーです。

【主な用途】

  • 半導体製造用G線・I線用フォトレジストなどの光化学反応分野における光量測定や、UVケア製品の特性評価
  • 光電気化学反応、光バイオ反応を含む分野における光量測定
  • 医療、医薬品分野での研究開発
  • 食品加工・美容・学術研究などにおける殺菌作用の測定と分析

【仕 様】

表示範囲0.1〜280000μW/cm2
オート/マニュアル4段レンジ
表示4桁 LCD
直線性±5% of rdg. ±1 digit (オートレンジ)
測定波長域UD-250 220〜300nm
UD-360 310〜400nm
UD-400 360〜490nm
斜入射光特性  UD-250  UD-360/400
30°  ±3%    ±3%
60°  ±15%   ±10%
温度特性±3%以内(-10〜40℃ 23℃基準)
湿度特性±3%以内
アナログ信号出力0〜3Vmax、1mV/1digit
インターフェイスミニUSB(仮想COMポート)
電源単3電池2本
使用条件温度 -10℃〜40℃
湿度 85%RH以下
外形寸法約195mm×70 mm×33 mm (受光部を含む)
質量約260g(受光部、乾電池を含む)
受光部ユニットは、測定波長域の違いにより、UD-250、UD-360、UD-400がありますが、表示部いずれも共通にご使用いただけます。
検出素子シリコンフォトダイオード
校正光源UD-250 GL-15
UD-360 FL20S・BLB
UD-400 標準光源A

【その他】
発売:平成21年8月下旬
標準価格:(表示部)UVR-300 136,500円(税込)
     (受光部)UD-250  252,000円(税込)
     (受光部)UD-400  147,000円(税込)
     (受光部)UD-360  142,800円(税込) 

【株式会社トプコン概要】
代表者:取締役社長 横倉 隆
設立:1932年9月1日
資本金:(連結)10,297百万円(2009年3月期)
売上高:(連結)112,666百万円(2009年3月期)
上場証券取引所:東京証券取引所第一部
社員数:(連結)4,964名(2009年3月末現在)
事業内容:ポジショニング(測量機器、GPS、建機マシンコントロールシステム、三次元計測機器、精密農業システム)、アイケア(眼科医療用検査・治療機器、眼科用ネットワークシステム、眼鏡店機器)、ファインテック(半導体検査装置、FPD向け装置、デバイス)等の製造・販売