イントレイチップ外観検査装置　Ｖｉ-３２００

イントレイチップを取り出さずに高精度検査

回転レーザー　ＲＴ-５ＳＷ、　レーザーセンサー　ＬＳ-Ｂ１０／ＬＳ-Ｂ１OＷ／リモートディスプレイ　ＲＤ-１０Ｗ

モバイルＧＮＳＳ受信機　GMS-2

世界初のＧＰＳ+ＧＬＯＮＡＳＳ衛星を利用可能な完全一体型モバイルハンドヘルド受信機

自動追尾トータルステーション　ＧＴＳー９００Ａ、自動追尾パルストータルステーション　ＧＰＴー９０００Ａ、データコレクタ　ＦＣ−２００

コンピュータレンズメータ CL-200 測定に緑色LEDを採用し、さらに精度アップ

PSFアナライザ PSF®-1000 レフラクトメータ機能に加え、網膜像シミュレーション機能を搭載

チップ外観検査装置 Vi-4300 最高検出性能0.65μm

300mmウェーハの全検査工程に対応

ウェーハ表面検査装置 WM-7000/WM-10

非接触式　角膜内皮細胞撮影装置 スペキュラーマイクロスコープ SP-3000P

イントレイチップ外観検査装置 Vi-3100

イントレイチップを取り出さずに高精度検査