ウェーハ表面検査装置 WM-7

世界初　Violet-LD搭載　低価格・低消費・低ランニングコスト

チップ外観検査装置 Vi-2201

世界最高レベルの検査スピードと判定一致率を実現

GPSを利用した「高精度位置情報サービス事業」に参入

RTK-GPS補正データ配信会社を共同設立

GPSを利用したIT施工システムを開発

鹿島建設殿採用を決定

米国における子会社再編

パターンレスエッジャー Accura Sx/Cx/Pro

オールインワンタイプ Accuraシリーズ

分光放射計SR-3発売

瞬時に分光測定　業界最高水準の測定スピード

光導波路応用小型変位センサーの実用化に成功

測量機器事業新展開

シビルステーション CS-220シリーズ

データコレクタ機能を搭載