走査電子顕微鏡「SM-200」発売
水不要、連続運転不要、設置スペースは半分。業界最小、コンパクト・デジタルSEM
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走査電子顕微鏡「SM-200」発売
水不要、連続運転不要、設置スペースは半分。業界最小、コンパクト・デジタルSEM
半導体専用電子ビーム測長機「MI-5080」
業界初、0.10ミクロンデバイスをターゲットにした測長SEM
オートレフラクトメーター RM-8000A
3Dオートアライメント機能を搭載
オートケラトレフラクトメーター KR-8100A
3Dオートアライメント機能を搭載
世界初、赤外螢光励起用半導体レーザ光源内蔵の眼底カメラを発売
眼底カメラ TRC-50LX
マシン・コントロールおよびレーザー応用機器の販売会社設立
今後の国内市場を見据えた、トップメーカーの布石
産業機器事業部の組織改編と光デバイス事業への注力
世界初、始動3分、停止即刻、冷却水不要の省エネ・省資源志向デジタルSEM
走査電子顕微鏡 SM-350
システムLSI時代の歩留まり管理のキーツール4機種同時発売
ウェーハ表面検査装置 WM-3000/2500~ ~電子ビーム測長機 MI-4120/4080N
オート露光、撮影指標採用の眼底カメラを発売
眼底カメラ TRC-50AX
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