チップ外観検査装置 Vi-2200発売

ICチップや精密電子部品の微小な異物や欠陥を高速・全自動で検査

走査電子顕微鏡「SM-200」発売

水不要、連続運転不要、設置スペースは半分。業界最小、コンパクト・デジタルSEM

半導体専用電子ビーム測長機「MI-5080」

業界初、0.10ミクロンデバイスをターゲットにした測長SEM

オートレフラクトメーター RM-8000A

3Dオートアライメント機能を搭載

オートケラトレフラクトメーター KR-8100A

3Dオートアライメント機能を搭載

世界初、赤外螢光励起用半導体レーザ光源内蔵の眼底カメラを発売

眼底カメラ TRC-50LX

マシン・コントロールおよびレーザー応用機器の販売会社設立

今後の国内市場を見据えた、トップメーカーの布石

産業機器事業部の組織改編と光デバイス事業への注力

世界初、始動3分、停止即刻、冷却水不要の省エネ・省資源志向デジタルSEM

走査電子顕微鏡 SM-350

システムLSI時代の歩留まり管理のキーツール4機種同時発売

ウェーハ表面検査装置 WM-3000/2500～　～電子ビーム測長機 MI-4120/4080N