日本電子とトプコンがウエハ表面検査装置の販売提携で合意

ウェーハ表面検査装置 WM-5000

Violet-LDを搭載し、世界初の40nm検出を可能に 低消費・低ランニングコスト

二次元形状計測装置 PF-3000

業界初　半導体製造プロセス管理に対応した新しい計測評価装置を開発

国内製造関係子会社2社を合併

株式会社オプトネクサスの誕生

水性ハンマーネット塗装の開発

キシレン・トルエンなどの揮発性有害化学物質の使用量削減

本社・工場での塩素系有機溶剤ジクロロメタンの全廃達成

手術用顕微鏡 OMS-90

新光学系による明るく立体感ある手術用顕微鏡を実現

チップ外観検査装置の引合いが活況

多品種デバイス・多工程への利用に注目

データコレクタ FC-1000

高速CPU搭載のWindows-CE対応データコレクタ

自動追尾パルストータルステーション GPT-8000A

世界最速レベル追尾の自動追尾・ノンプリズム両用トータルステーション